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美国MicroE光栅尺
型号/名称
量程/输出
适用特点
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M3500V、M6000V真空光栅
AB相增量信号输出、TTL方波输出
真空度高达10-8托、分辨率可编程设置、最高可达1.2nm;直线光栅、圆光栅、扇形光栅
M1500光栅
AB相增量信号输出、TTL方波输出
分辨率1u、0.5u;直线玻璃光栅尺、圆光栅、扇形光栅
M2000、M3000、M3500光栅
AB相增量信号输出、TTL方波输出
分辨率可编程设置;选配直线玻璃光栅尺、圆光栅、扇形光栅
MTE金属光栅尺/MTE40-3
AB相增量信号输出、TTL方波输出
分辨率1u、0.5u;金属光栅尺、每隔100mm自带光刻零位、超高性价比
Veratus光栅/VIA-0500-AA1-20-30A/VX-0100-AA1-20-30A
AB相增量信号输出、TTL方波输出;30m内金属尺任意剪切
分辨率1u、0.5u、0.1u、50nm、20nm、粘贴式零位
MicroE光栅/MII1600/MII5000/MII6000
AB增量信号输出、TTL方波输出;模拟信号输出;30m内金属尺任意剪切
分辨率1u-1.2nm可选择;可配金属光栅尺、玻璃光栅尺、圆光栅
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