真空度高达10-8托、分辨率可编程设置、最高可达1.2nm;直线光栅、圆光栅、扇形光栅
M1500V~M3500V、MII6000V真空读数头
*微型传感器
*革命性的对准方式可用于多种应用
*先进的SmartPrecision电子器件内置于屏蔽D-SUB连接器
*栅距20μm
*分辨率高达1.22nm;旋转分辨率可达268MCPR
*分辨率可编程设置
*线性精度:标准±3~±5μm;高精度±1μm;旋转精度可达±2.1角秒
*真空度高达10负8托
*双向零位信号
*LED设置指示灯用于传感器对准和零位定位
*可选配直线光栅、圆光栅、扇形光栅