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M3500V、M6000V真空光栅

真空度高达10-8托、分辨率可编程设置、最高可达1.2nm;直线光栅、圆光栅、扇形光栅

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详细介绍

M1500VM3500V、MII6000V真空读数头

*微型传感器

*革命性的对准方式可用于多种应用

*先进的SmartPrecision电子器件内置于屏蔽D-SUB连接器

*栅距20μm

*分辨率高达1.22nm旋转分辨率可达268MCPR

*分辨率可编程设置

*线性精度:标准±3±5μm;高精度±1μm;旋转精度可达±2.1角秒

*真空度高达10负8

*双向零位信号

*LED设置指示灯用于传感器对准和零位定位

*可选配直线光栅、圆光栅、扇形光栅


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